FELHÍVÁS
Gyakorlati vákuumtechnika TANFOLYAM-ra
IUVSTA Technical Short Course in Hungary II.
2009. április 20 – 24, ATOMKI, Debrecen, Bem tér 18/C
A 2006. októberében szervezett vákuumtechnikai tanfolyam sikerén felbuzdulva az Eötvös Loránd Fizikai Társulat újra meghirdeti magyar nyelvű tanfolyamát azonos tartalommal.
A tanfolyam tematikája: a csatolt melléklet tartalmazza, időtartama 32 óra. Az előadásokat laboratóriumi demonstrációk egészítik ki. A tanfolyam hallgatói az 1 – 12. fejezet anyagát tankönyv formájában, a 13. fejezetét a kivetített anyag másolata formájában megkapják.
A tanfolyam célközönsége: bármely, vákuummal kapcsolatos munkaterületen dolgozó technikus, diák, végzett mérnök, kutató.
A tanfolyam időpontja: 2009. április 20 – 24. (hétfő déltől péntek délig).
A tanfolyamot legalább 15 fő jelentkezése esetén tartjuk meg.
A mostani tanfolyamhoz pályázat útján elnyertük a IUVSTA (International Union for Vacuum Science, Technique and Application) támogatását. Ez a IUVSTA támogatás a résztvevők szállás- és útiköltségéhez való jelentős hozzájárulást jelent.
A tanfolyam díja: 35 000,- Ft + ÁFA, diákoknak: 25 000,- Ft + ÁFA
Kérem, előzetes jelentkezési szándékát jelezze az alábbi adatok visszaküldésével sürgősen,
de legkésőbb 2009. febr. 28-ig.
Részt veszek a Gyakorlati Vákuumtechnika Tanfolyamon:
A jelentkező
neve:
munkahelyének neve:
címe:
postacíme:
e-mail címe:
telefonszáma:
Támogatást kérek útiköltségre: kb. ……….… Ft értékben (csak vonat- vagy buszjegy számolható el, a saját nevére szóló számla ellenében),
szállásra: igen, nem (a nem kívánt válasz törlendő).
A jelentkezések beérkezése után a jelentkezőket értesítjük, hogy a jelentkezések száma elérte-e a megtartáshoz szükséges küszöböt.
A tanfolyam díját csak a kiértesítés után kérjük befizetni az Eötvös Loránd Fizikai Társulat (1027 Budapest, Fő u. 68.) Kereskedelmi és Hitelbank RT.-nél vezetett 10200830-32310274-00000000 számú számlájára „vákuumtechnikai tanfolyam” megjelöléssel.
Határidők:
Jelentkezés: 2009. február 28.
Jelentkezések visszaigazolása a szervezőktől: 2009. március 7.
Részvételi díjak befizetése az ELFT számlájára: 2009. április 1.
Az előzetes jelentkezés beküldendő: Bohátka Sándor részére e-mail-en (bohatka@atomki.hu) vagy postán (ATOMKI, 4026 Debrecen, Bem tér 18/C).
Debrecen, 2008. december 10.
Bohátka Sándor
Eötvös Loránd Fizikai Társulat
Vákuumfizikai, -technológiai és Alkalmazások Szakcsoport elnöke
A tanfolyam tematikája
1. A gázok kinetikus elméletének alapjai
- Ideális gáz modellje
- Sebességeloszlás
- Nyomás
- Részecskefluxus sűrűség az edény falán, gázszállítás
- Energia
- Közepes szabad úthossz, ütközések
2. Transzport jelenségek gázokban
- Diffúzió
- Belső súrlódás
- Hővezetés
3. Gázok áramlása
- Áramlási tartományok
- Gázáram, szivattyúzó képesség (gázszállítás)
- Csővezetékek áramlási ellenállása, vezetőképessége
- Szivattyú eredő és effektív szívósebessége
- Áramlás kis, vékony falvastagságú nyíláson át
- Molekuláris áramlás nagy vékony nyíláson át
- Áramlás csövekben,
- Recipiens leszívási ideje
4. Gázok és kondenzált anyagok kölcsönhatása
- A vákuumedény gázainak lehetséges forrásai
- Gőzök, párolgás, kondenzáció
- Szorpció és deszorpció
- Gázdiffúzió a szerkezeti anyagok falából
- Permeáció
- Gyakorlatias megjegyzések a gázforrásokról
5. Vákuummérők (össznyomásmérők)
- Mechanikus vákuummérők
- Viszkozitáson alapuló vákuummérő
- Folyadékos vákuummérők
- Hővezetéses vákuummérők
- Ionizációs vákuummérők
- Vákuummérők hitelesítése
6. Parciálisnyomás-mérők (tömegspektrométerek)
- Típusainak rövid áttekintése
- Maradékgáz analízis
7. A lyukkeresés módszerei, eszközei és gyakorlata
8. Szivattyúk (különös tekintettel az olajkenéses és száraz szivattyúk megkülönböztetésére)
- Ürítéses szivattyúk
- Alternáló szivattyúk
- Forgó ürítéses szivattyúk
- Hajtóközeges szivattyúk
- Molekuláris szivattyúk
- Szorpciós szivattyúk
- Krioszivattyúk
9. Technikai ismeretek
- Vákuumtechnikai anyagok
- Kötések, tömítések, átvezetők
- Alkatrészek, elemek
10. Vákuumrendszerek
- Példák különböző nyomástartományokra készült vákuumrendszerek felépítésére
- Működtetési tapasztalatok, tanácsok
11. Tisztítás
12. Példák számítási feladatok megoldására
13. Vékonyrétegek
- Előállítási technikák
- Fizikai gőzöléses lecsapatás (párologtatás, porlasztás, lézer abláció, MBE)
- Kémiai módszerek
- Vékonyrétegek képződése és szerkezete
- Vékonyrétegek mechanikai, elektromos, mágneses és optikai tulajdonságai
- Szilárd felületek és vékonyrétegek jellemzése (főként elektron- és ionnyalábbal)
vékonyréteg vastagságának mérése; elektronmikroszkópia – SEM, TEM; elektronspektroszkópia – XPS, UPS, AES; reflexiós elektron energia veszteség spektroszkópia – REELS; rugalmas csúcs elektron spektroszkópia – EPES; szekunder ion/semleges tömegspektrometria – SIMS, SNMS; söpretéses alagút-mikroszkópia – STM; röntgen-diffrakció; Rutherford-visszaszórásos spektrometria – RBS; Rugalmas visszalökéses spektrometria – ERS; Közepes energiájú ionszóródás – MEIS; ionszórásos spektroszkópia – ISS
14. Laboratóriumi gyakorlat
- Nagy- és ultranagy-vákuum szivattyúk, alkatrészek és rendszerek, tömegspektrométerek, elektronspektrométerek, magnetron porlasztásos vékonyréteg-előállító berendezés, SIMS, SNMS, TEM, STM és röntgen-diffrakciós berendezés bemutatása
- Lyukkeresés Pirani és ionizációs vákuummérővel, tömegspektrométerrel
Az elméleti alapok röviden, a termelésben és laboratóriumi gyakorlatban alapvető ismeretek részletesebben kerülnek tárgyalásra, az oktatás időtartama: 32 óra.
Oktatók:
Dr. Bohátka Sándor, tudományos főmunkatárs, ATOMKI (1-12. és 14. fejezet)
Dr. Langer Gábor, tudományos főmunkatárs, DE Szilárdtest Fizika Tanszék (13, 14. fejezet)
Dr. Varga Dezső, tudományos főmunkatárs, ATOMKI (13, 14. fejezet)