4
4.2. Reaktív ionmarás

 

  4.2.1. Si eltávolítása

4.2.2. SiO2 marása

4.2.3. Al és ötvözetei

4.2.4. Magas olvadáspontú fémek

4.2.5. III -V vegyületek

4.2.6. Szerves anyagok elhamvasztása