3.2. A Penning porlasztás |
3.2.1.1. A Penning porlasztás gyakorlati kivitele
3.2.1.2. A források alakja
3.2.1.3. A porlasztás elrendezése.
3.2.1.4. Rétegvastagság eloszlás
3.2.1.5. Rádiófrekvenciás porlasztás
3.2.1.6. Ötvözet porlasztás
3.2.1.7. Reaktív porlasztás
3.2.2. Alkalmazási példák
3.2.2.1. Alumínizálás
3.2.2.2. ITO
3.2.2.3. Ferromágneses anyagok porlasztása
3.2.2.4. Keménybevonatok
3.2.3. Kombinált technológiák
3.2.3.1. Ion plating
3.2.3.2. Ionos párologtatás
3.2.3.3 Egyéb technológiák