4
3.3. PECVD
2

  3.3.1. Alkalmazások
3.3.1.1. Oxidok.
3.3.1.2. Alumínium - oxid
3.3.1.3. Egyéb oxidok
3.3.2. Nitridek
3.3.2.1. Si3N4
3.3.2.2. AlN
3.3.2.3. P3N5
3.3.2.4. TiN
3.3.2.5. Bórnitrid
3.3.3. Karbidok
3.3.3.1. TiC
3.3.3.2. SiC
3.3.3.3. Szénréteg
3.3.4. III-V. Félvezetők