6.1. Vastagság mérések
6.1.2. Interferenciás mérés. (In situ)
6.1.3. Ellenállás mérés. (In situ)
6.1.4. Rétegvastagság mérése tapintótűs méréssel
6.1.5. Interferometriás mérés
6.1.6. Ellipszometria (Polarometria)
6.1.7. Alkalmazási lehetőségek