6. RÉTEGVIZSGÁLATOK
2

                     6.1. Vastagság mérések

                          6.1.1. Rezgőkvarcos rétegvastagság mérés. (In situ)

                          6.1.2. Interferenciás mérés. (In situ)

                          6.1.3. Ellenállás mérés. (In situ)

                          6.1.4. Rétegvastagság mérése tapintótűs méréssel

                          6.1.5. Interferometriás mérés

                          6.1.6. Ellipszometria (Polarometria)

                          6.1.7. Alkalmazási lehetőségek