6.1. Vastagság mérések
6.2. Struktúra és összetétel vizsgálatok
6.2.1 TEM
6.2.2. Analitikai elekronmikroszkópia
6.2.3. SIMS
6.2.4. Auger-elektron-spektroszkópia
6.2.5. Pásztázószondás mikroszkópia
6.2.6. Optikai spektroszkópia
6.2.7. Felületi spektroszkópia
6.2.8.1. A másodlagos semleges részecskék tömegspektroszkópiája
6.2.8.2. Lézer mikroanalízis tömeg analizátor